femap

Скачать бесплатно ГОСТы, книги, техническую литературу

folder

File: Фелдман Л. - Основы анализа поверхности и тонких пленок

Дата загрузки:
06.03.09
Размер файла:
3 MB

Монография, написанная американским специалистами в области атомных столкновений в твердых телах, посвящен физическим основам и методам использования пучков ионов, электронов и рентгеновского излучения для анализа структуры и состава тонких пленок вещества. Эти методы играют важную роль в развитии современной атомной технологии, особенно в области микроэлектроники. Все вопросы изложены на высоком научном уровне.

 

© ProCae.ru 2007-2010 При полной или частичной перепечатке редакционных и авторских материалов гиперссылка на «ProCae.ru» обязательна

Rambler's Top100